影像测量仪由各系统组成，影像测量仪包括机座、底座、工作台、由龙门架、X、Y、Z向传动轴系、联结在Z向传动轴系上的Z向滑块组成的运动系统、照明系统、摄像系统及软件控制系统，所述照明系统包括上光源及底光源，所述摄像系统包括摄像镜头及摄像机，所述上光源、摄像镜头同轴设置在一固定在Z向滑块上的上光源灯罩内，所述Z向传动轴系固定在龙门架上，所述X向传动轴系设在龙门架上部的水平梁上，所述Y向传动轴系设在所述工作台两侧龙门架的纵梁上，后者与龙门架的两立柱底部联结，所述X、Y、Z向传动轴系上均设有光栅用以将其各自移动的位置信号传输给软件控制系统，还包括一用以限制摄像镜头和上光源与被测工件之间的距离的传感结构，该传感结构包括一发射传感器、一接受传感器以及一Z向传动装置，该影像测量仪的测量过程分对焦阶段、拍摄阶段、拼接阶段及计算阶段,具体步骤是：
1、对焦阶段：
1.1、在计算机上选定一个测量范围，它为一个将被测件在工作台面上的最大投影面包含在内的二维平面。
1.2、计算机先将信号传送给Z向传动轴系，启动Z轴步进电机并带动固定在Z向滑块上的灯罩内的摄像镜头上下移动以便对焦，同时由传感结构中的区域传感器将探得的被测件最高点的高度反馈给计算机以确定摄像镜头与被测件最高点的距离，该距离也称为摄像机完成对焦的有效焦距，Z向传动轴系中的光栅将此时摄像镜头位置信号传送回计算机保存。
2、拍摄阶段：
2.1、由计算机将信号传送给X、Y向传动轴系，启动X、Y轴步进电机并带动摄像镜头在一个水平面上移动到测量范围的起始位置，此后根据计算机生成的移动路径，摄像镜头在测量范围内移动到下一位置。
2.2、每移动一个确定位置，摄像系统都要根据设定的取像数拍摄图像,摄像系统提取的是在该点64×48mm范围内的图像并保存到计算机内。
3、拼接阶段： 计算机根据每次取像时摄像镜头的位置对所有的图像按照移动路径进行拼接生成一个封闭的整体图形。
4、计算阶段： 在已生成的整体图形中对图像边缘进行取点和计算得出被测件的外形尺寸并对该封闭的图形上的相应点的相对位置关系进行计算，所有计算结果按照要求储存为当前名义值或者与事先输入的名义值作对比并且以数字和图形方式输出。

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