影像測量儀常見故障分為升降傳動故障、工作臺故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、電氣故障、電子故障以及精度故障等。
 
1、升降傳動故障。常見的有升降有異響、無法上升，下降、下降有墜落感，彈跳、傳動時空回間隙大、微調不傳動、投影屏框松動等。
 
2、工作臺故障。一般容易出現光桿空轉、光桿傳動有彈跳、磨擦傳動時不順、工作臺運動有響聲、工作臺運動有卡滯現象等。解決故障時，要要找出故障原因，再對癥下藥。可調整彈簧的螺絲松緊、更換軸承、新上油、加潤滑油、更換光桿、調節或更換光桿支架等方式來解決。
 
3、投影屏故障。旋轉有聲響時，可清理端面上的雜質（如銹漬），換新定位軸承等。旋轉時磨擦力大，可松開鎖緊螺絲，或換磨擦轉。旋轉時不均勻時，可換新度盤座、磨擦輪、磨擦輪軸等。投影屏旋轉不計數時，可扭緊角度磨擦機械，焊接好信號線，接好接插等。
 
4、投影成像故障。成像模糊、成像有暗區、影像有黑斑、成像對比光線暗等，可以對物鏡、投影屏、工作臺玻璃、聚光鏡、反光鏡等進行清洗。對燈絲進行調節或更換，如果燈泡電源電壓過低，則加裝總電源穩壓器。
 
5、影像成像故障。顯示黑屏時可查看電源線是否接好，電源電壓等，插緊顯示器信號線，如有零件損壞則需要更換顯示器或者十字線產生器。當物鏡變倍時十字線與描準點偏移大時，重調鎖鏡筒的螺絲釘，或者換鏡筒。當出現被測工作的某一邊有暗影時，可調節攝像機或者玻璃四個角上的螺絲，擺正工件。
 
6、電氣故障。常見故障有燈泡不亮、軸流風機不轉動、易燒燈泡、易燒保險絲、變壓器過熱，損壞等。
 
7、電子故障。如電箱按鍵失靈，可系統總清、換新面膜；如軸不計數，可換滑座或OP板或整個尺、重新接一下信號線、換主機板等。如數碼管缺筆劃，則需更換或維修。
 
8、精度故障。包括a.x.y軸精度不準、兩坐標測量精度差、角度示值誤差大、不同平面測量誤差大等。應對此類故障，要注意校正和調整。
 
如果想讓影像測量儀少發生故障，就要注重平時對儀器進行保養。儀器存放環境相當重要，應放在清潔干燥的房間里，避免光學零件表面發霉、金屬零件生銹、塵埃雜物剝落等。件表面要保持清潔，不可以用手觸摸，要經常進行清潔。